半导体晶圆厂自动化设备企业弥费科技近日完成超亿元A轮融资，本轮融资由启明创投领投，金浦智能、红晔资本跟投。本轮融资资金将用于扩大公司运营规模、加大研发投入、拓展海外市场等。
弥费科技2014年创办于上海，专注于生产、研发、销售适用于半导体晶圆厂的自动物料搬运系统（AMHS）。从2016年起，弥费科技陆续为国内外多个8英寸和12英寸晶圆厂提供AMHS产品，包括调度软件、传送及存储设备，并为40/28纳米及以下先进工艺节点提供净化设备，主要客户覆盖国内外知名晶圆代工厂。
2019年至今，弥费科技持续投资临港总部、临港工厂、张江研发中心、弥费天狼星AI算法实验室，打造以上海临港为中心的研发及运营中心。