12月28日，中微公司(688012)公告，拟以上海理想万里晖薄膜设备有限公司（简称“理想万里晖”）投前估值36亿元为交易价格，向理想万里晖投资1亿元，理想万里晖业务主要集中在光伏异质结领域的国产替代。
交易价格在评估结果32.99亿元的基础上溢价9.12%。增资后，中微公司持股比例由3.69%增至4.77%。
关于溢价，中微公司称，主要基于理想万里晖的团队专业背景，在HJT光伏设备行业多年的技术积累、技术领先地位和较为突出的产品研发能力，现有产品优越性能及在未来“双碳”形势下，光伏设备市场广阔的市场空间等对理想万里晖整体商业价值的判断。
中微公司表示，本次公司对外投资，系公司为完善业务布局而进行，通过对理想万里晖的投资，公司有望与理想万里晖在泛半导体关键设备领域形成协同发展效应。
公告显示，理想万里晖持续致力于前沿高端光伏设备的研发，实现装备的国产替代及降本增效，开发的量产型VHF-PECVD设备助力客户获得异质结电池转换效率达26.30%。理想万里晖拥有上海研发中心和泰兴生产基地，年生产量产设备能力超过15GW。
据了解，目前，国际光伏市场上的太阳能电池主要有晶体硅（包括单晶硅、多晶硅）、非晶硅薄膜、碲化镉薄膜及铜铟镓硒薄膜太阳电池、非晶/单晶异质结（SHJ）等，异质结（SHJ）属于新技术，工艺相对简化、成本可控，转化率可以达到25%左右。
而PECVD为等离子体增强化学气相沉积法，是一种先进的在衬底上形成薄膜的方法，PECVD淀积的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性，正由于这些优点使其在超大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛的应用。
相关资料指出，国内之前采用的PECVD设备均为进口，被美国应材、欧洲梅耶博格和日本真空等巨头“卡脖子”，而理想万里晖在国内自主研制出了PECVD设备，研发工艺可直接用于量产装备大规模生产。
公开信息显示，理想万里晖于2013年5月21日成立，法定代表人为孙曦东，注册资本为1.53亿元。上海联和投资有限公司为公司大股东，持股17.9%。2020年12月，中微公司、上海联和投资有限公司等20位股东向理想万里晖合计增资5.49亿元。
此外，此次公告还显示，理想万里晖经营处于亏损状态。截至2021年9月30日，理想万里晖总资产7.8亿元，总负债1.6亿元，净资产6.17亿元。今年前三季度营收5,258.88万元，净利润-3,527.42万元，扣非净利润-4,358.57万元。