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广州潽拓光电——

德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

设计/工作原理

普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得。涡轮分子泵属于动能

真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋

转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何

形状的叶片定子盘。

轴承

通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中

有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑

电动机/驱动器

能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶

片速度是泵送气体所必需的。

如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源

包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流

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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修

概要：

涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵，通常和辅助泵配套使用。

主要用途：半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。

标准规格如下：

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广州潽拓光电——leybold Tw70LS涡轮分子泵维修

莱宝Leybold Tw70H广泛用于Agilent ，Shimadzu，日本理学等分析设备中,Oerlikon leybold Turbovac Tw70h,其转速为72000rpm, Leybold TW70LS 是在TW70 基础上改进而成，专门用于Leybold氦质谱检漏仪中，如Leybold L300氦质谱检漏仪上就是用Leybold tw70LS涡轮复合分子泵的。

从事leybold Tw70LS涡轮分子泵维修服务，设备齐全，技术过关，进口模具，规范操作，原厂配件。广州潽拓光——leybold Tw70LS涡轮分子泵维修的。