3D玻璃显影曝光技术在HW mateRs用到了此技术,该后盖3D玻璃8曲面,弧面曲率大,
设计八曲面玻璃主要是为了满足如下两点需求:
1:为压缩整机厚度,后盖弧度大可增加架构空间,另未来5G的发展,器件增加,空间需加大;
显影液去除并且清洗(rinse):达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。
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