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如果将氦（He）氖（Ne）激光作为代气体激光，二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。一方面氩激光很少见，另一方面为了便于称号，人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此，英文文献亦见此用法，所以在不致混杂的时候，仍可用氩激光称号氩离子激光。

激光切割领域较长使用的二氧化碳激光混合气体，这里二氧化碳就是产生激光作用的主导气体。二氧化碳激光混合气体目前存在切割线粗，毛边多，并且切割钢板的厚度很有限，一般都在10mm左右。激光切割机所用气体的种类和作用：1）空气：①作为切割气体使用 ②作为冷却切使用 ③作为光路内部除尘使用（保护镜片延长镜片的使用时间）2）普氧：作为切割碳钢的气体（助燃性）纯度99.5%3）纯氮：作为切割不锈钢的气体（冷却性）纯度99.9%（切割碳钢速度为3/4） 4）高纯氮：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%5）高纯氦：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%6）高纯二氧化碳：作为激光器的使用气体，纯度：99.999% ；中性原子激光中，常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著，所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guiding beam)。其优越的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地)，使它广用于扫描读码设备及全像等。

铜蒸汽激光产品可发生100W以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm)，金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。这两种激光有很多用途，例如血紫质衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm，而癌细胞能吸收此物质。此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化，发生可癌细胞的物质。不过，铜蒸汽激光激起染料激光，也可得到这种光，而不必依托金蒸汽激光。此外，578 nm的激光能够除去某些胎记，作用优于用氩离子激光。激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。

如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气，当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体，一般压力要求比较高。 激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。