人们有时还会用千分尺来测量涂层的厚度。它们具有测量任何涂层与基体组合的优点,但缺点是需要接触到的基底面。
接触涂层的上表面和基底的下表面有时是非常困难的,并且它们通常不足以非常准确、灵敏的测量出某些薄涂层的厚度。因此,利用该方法必须进行两次测量,一次是在含有涂层的表面上进行测量,另一次则是在没有涂层的表面上进行测量。这两个度数的差值,也即是测量的高度差,就是该涂层的厚度大小。在一些粗糙表面上,该方法一般在较高处测量涂层的厚度。
首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层C在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(Parylene)涂层微通道。通过控制(Parylene)涂层沉积的厚度,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,具高屏障效果,抗酸碱性。原文链接:http://www.jingke.org/caigou/show-131257.html,转载和复制请保留此链接。
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