半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
然存在的氙同位素
氙在地壳中的含量,主要来源于空气;相对原子量为131.3,临界温度为,16.6。氙气无色,不助燃,能吸收=射线X射线,是相对原子质量大,密度大的体。
在自然存在的氙元素中存在9种不同的氙同位素,其中有5个稳定同位素和3个观测上稳定的同位素和一个性痕量同位素。由于124Xe和134Xe根据预测能够进行双重β衰变,但这未经实验证明,因此这两种同位素仍被认为是稳定的。氙是自然存在稳定同位素第二多的元素,多的是锡,其共有7个稳定同位素和3个观测上稳定的同位素。稳定同位素数量高于7个的元素只有氙和锡。
在自然存在的氙同位素中,丰度高的是氙-132,占26.9%、其次为氙-129,占26.4%、再来是氙-131,占21.2%、以及氙-134,占10.4%、还有氙-136,占8.86%,其余丰度皆在5%以下,包括氙-130(丰度:4.07%)、氙-128(丰度:1.91%)、氙-124(丰度:0.095%)以及氙-126(丰度:0.089%),其中氙-136有微弱的性,会经由双重β衰变衰变成钡-136,半衰期约2×1021。
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气厂家 厂家浅析气体混合物的典型用途用于焊接。氧和的混合物,二氧化碳和氦-氮都可以供焊接使用用于冷却。冷冻剂例如氯代和碳氟化合物的混合物都可用于冷却用。用于烟熏。代和乙烯氧化物都可用于烟熏用于化学检验。美国材料试验学会将气体混合物用作保护气氛用于冶金。氢-氮气可用于热处理.用于泄漏检测:低百分含量的碳氟化合物。可以用于探测泄漏。
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