10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。在实际施工中,净化项目通常分为分工和分时。 这种安排有利于各种工作类型的管理。 但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材。
在选择FFU风机外壳结构的时候,不但要考虑避免风机泄漏和消除运输与搬运期间带来的损坏,而且还要考虑能用消毒剂消毒,以及FFU使用的环境,因此好选用不锈钢或铝合金的材料作外壳。也就是将风机和过滤器(过滤器或超过滤器)组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的过滤器的送风口、自净器、层流罩等都是FFU的一种。净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
如果面积较大厂房的个别净化车间有较高洁净级别的需求,那么势必集中送风的空调机组风量较大,风机压头较高,才能克服风管管道的阻力,以及初效、中效、过滤器的阻力,才能满足这些房间洁净度的需求。净化车间FFU使用须知:如果通过增减FFU数量的方法,就可以局部调整房间的洁净度布局,用以满足工艺的改动,而且FFU自带动力、风口、灯具,从而可以节省大量的投资。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能达到同样效果的。负压密封,FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从净化车间向静压箱泄漏,不会形成对净化车间的污染。
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